Особенности резки монокристаллических слитков кремния на пластины - «Национальный агрегатор открытых репозиториев российских университетов» (НОРА)

Материалов:
1 005 012

Репозиториев:
30

Авторов:
761 409

расширенный поиск

Особенности резки монокристаллических слитков кремния на пластины

Зеленин, В. А., Мельников, Г. Г., Сенько, С. Ф.

Дата публикации: 2001

Дата публикации в реестре: 2023-06-20T10:42:38Z

Тип: Article

Связанные документы (рекомендация CORE)