Принцип действия полупроводниковых пленочных сенсоров основан на изменении электрофизических свойств чувствительного слоя полупроводникового образца при изменении состава анализируемой газовой среды. Выходным сигналом первичного преобразователя служит либо величина сопротивления, которая в последующем преобразуется в напряжение.