Установка для модификации электродных материалов ионными пучками

Поплавский, Василий Владимирович; Леонов, В. С.; Бутылин, Б. А.

Установка для модификации электродных материалов ионными пучками

Поплавский, Василий Владимирович, Леонов, В. С., Бутылин, Б. А.

Дата публикации: 1984

Дата публикации в реестре: 2023-11-01T12:28:32Z

Аннотация:

Дано описание простой установки для модификации материалов ионными пучками, конструкции искрового источника ионов металлов, схемы цепи питания ионного источника и схемы регистрации ионного пучка. Обсуждаются достоинства как выбранного типа ионного источника, так и самого метода модификации поверхности материалов.

Ключевые слова:
ионная имплантация, электродные материалы, установка ионного внедрения, ионные пучки, метод модификации поверхности материалов

Тип: Article