Получены выражения, позволяющие оценить величину фотоэлектрического сигнала на выходе сканируемого интерферометра Фабри-Перо с конечной диафрагмой при использовании в качестве источника атомного пучка. Результаты теории сопоставлены с экспериментом, в котором исследовались линии изотопов.