Рассмотрена задача прогнозирования технических и эксплуатационных характеристик двигательной установки микроспутника, созданной по микроэлектронной технологии. Решена связанная термомеханическая задача гидродинамики с помощью пакета ANSYS CFX. Осуществлена оптимизация конструкции микродвигателя, проанализирован прогрев его корпуса за время работы топливной камеры, определено распределение поля скоростей в сопле микродвигателя. Найдены значения полей механических и температурных деформаций для чистого кремния и композита кремний-SiO2, показана принципиальная возможность работы рассматриваемого устройства. Расчет производился на триангулярной сетке.