Источники низкоэнергетичных пучков заряженных частиц

Груздев, В.А.; Залесский, В.Г.; Солдатенко, П.Н.; Gruzdev, V.A.; Zalesski, V.G.; Soldatenko, P.N.

Источники низкоэнергетичных пучков заряженных частиц

Груздев, В.А., Залесский, В.Г., Солдатенко, П.Н., Gruzdev, V.A., Zalesski, V.G., Soldatenko, P.N.

Дата публикации: 2014

Дата публикации в реестре: 2023-11-01T14:03:23Z

Аннотация:

В работе представлены некоторые результаты, полученные при разработке низкоэнергетичных плазменных источников электронов, формирующих электронные и ионные пучки с параметрами, достаточными для реализации ряда технологий модификации поверхностей. Some results obtained in the development of low-energy IEP forming electron and ion beams with parameters sufficient for a number of surface modification technologies are presented.

Ключевые слова:
низкоэнергетичные пучки, плазменный источник электронов, электродная структура, low-energy beams, electron source, electrode structure

Тип: Article

Права: open access