Разработка тонкопленочного покрытия Nb2O5/SiO2 для зеркал резонатора параметрического генератора света на основе монокристалла ZnGeP2

Кузнецов, Владимир Сергеевич; Зиновьев, Михаил Михайлович; Слюнько, Елена Сергеевна; Юдин, Николай Николаевич; Подзывалов, Сергей Николаевич; Кальсин, Андрей Юрьевич; Лысенко, Алексей Борисович; Власов, Денис Васильевич; Черемис, Мария Александровна

Разработка тонкопленочного покрытия Nb2O5/SiO2 для зеркал резонатора параметрического генератора света на основе монокристалла ZnGeP2

Кузнецов, Владимир Сергеевич, Зиновьев, Михаил Михайлович, Слюнько, Елена Сергеевна, Юдин, Николай Николаевич, Подзывалов, Сергей Николаевич, Кальсин, Андрей Юрьевич, Лысенко, Алексей Борисович, Власов, Денис Васильевич, Черемис, Мария Александровна

Дата публикации: 2023

Дата публикации в реестре: 2023-12-05T16:03:50Z

Аннотация:

Получены оптические дисперсии показателей преломления и коэффициентов поглощения в широком спектральном диапазоне длин волн для Nb2O5 и SiO2. Произведены расчеты диэлектрических зеркал резонаторов параметрических генераторов света с использованием данных оксидных материалов. Определены оптимальные значения газовой смеси и ускоряющие напряжения для распыления используемых материалов ионно-лучевым методом. Проведены работы по тестированию оптических покрытий на адгезию к подложке и их истиранию. Показана возможность создания диэлектрического зеркала, работающего в диапазоне 3.5–5 мкм на сапфировой подложке.

Ключевые слова:
тонкие пленки, интерференционные покрытия, параметрические генераторы света, ионно-лучевое распыление, подложка

Тип: статьи в журналах

Права: open access

Источник: Известия высших учебных заведений. Физика. 2023. Т. 66, № 7. С. 101-109