Многослойные нитридные покрытия (TiZrNbHf)N/MoN

Колесников, Д. А.; Немченко, У. С.; Береснев, В. М.; Новиков, В. А.

Многослойные нитридные покрытия (TiZrNbHf)N/MoN

Колесников, Д. А., Немченко, У. С., Береснев, В. М., Новиков, В. А.

Дата публикации: 2016

Дата публикации в реестре: 2020-02-28T09:14:35Z

Аннотация:

Показано, что при невысоком отрицательном потенциале смещения, подаваемом на подложку при осаждении (Uсм менее 150 В), в многослойных покрытиях с толщиной слоев около 50 нм можно достичь двухфазного состояния с преимущественной ориентацией кристаллитов

Ключевые слова:
техника, технология металлов, вакуумно-дуговое осаждение, высокоэнтропийные сплавы, многослойные нитридные покрытия, свойства покрытий

Тип: Article