Способ изготовления резистивно-коммутационной тонкопленочной интегральной микросхемы

Сокол, В. А.; Воробьева, А. И.; Уткина, Е. А.

Способ изготовления резистивно-коммутационной тонкопленочной интегральной микросхемы

Сокол, В. А., Воробьева, А. И., Уткина, Е. А.

Дата публикации: 2004

Дата публикации в реестре: 2024-03-01T13:17:18Z

Аннотация:

Изобретение относится к области электронной техники, в частности микроэлектронным приборам, и способам изготовления микросхем с тонкопленочными резисторами, встроенными в систему межсоединений.

Ключевые слова:
патенты, микроэлектроника, электронная техника

Тип: Other