Электрофизические процессы и оборудование в технологии микро– и наноэлектроники

Достанко, А. П.; Русецкий, А. М.; Бордусов, С. В.; Ланин, В. Л.; Ануфриев, Л. П.; Карпович, С. В.; Жарский, В. В.; Плебанович, В. И.; Адамович, А. Л.; Грозберг, Ю. А.; Голосов, Д. А.; Завадский, С. М.; Соловьев, Я. А.; Дайняк, И. В.; Ковальчук, Н. С.; Петухов, И. Б.; Телеш, Е. В.; Мадвейко, С. И.

Электрофизические процессы и оборудование в технологии микро– и наноэлектроники

Достанко, А. П., Русецкий, А. М., Бордусов, С. В., Ланин, В. Л., Ануфриев, Л. П., Карпович, С. В., Жарский, В. В., Плебанович, В. И., Адамович, А. Л., Грозберг, Ю. А., Голосов, Д. А., Завадский, С. М., Соловьев, Я. А., Дайняк, И. В., Ковальчук, Н. С., Петухов, И. Б., Телеш, Е. В., Мадвейко, С. И.

Дата публикации: 2011

Дата публикации в реестре: 2024-03-01T13:17:20Z

Аннотация:

Рассмотрены и обобщены результаты исследований и разработок в области теории, технологии и оборудования для электрофизических методов обработки материалов изделий микро- и наноэлектроники.

Ключевые слова:
монография, публикация ученых, микроэлектроника, электрофизические процессы, наноэлектроника

Тип: Книга