Пористый кремний в микро- и нанотехнологиях

Лемешевский, И. А.

Пористый кремний в микро- и нанотехнологиях

Дата публикации: 2023

Дата публикации в реестре: 2024-03-01T13:20:10Z

Аннотация:

Данное исследование посвящено изучению свойств параметров пористого кремния и его особенностей, а также сферы применения пористого кремния и перспективы его использования.

Ключевые слова:
материалы конференций, пористый кремний, спектральные зависимости, микротехнологии, нанотехнологии

Тип: Article