В работе проведено исследование влияния ультрафиолетового облучения на оптические свойства
наноструктурированных пленок оксида цинка, сформированных на подложках монокристаллического
кремния методом электрохимического осаждения. Полученные пленки состоят из разноориентированных заостренных на конце столбиков. Облучение полученных пленок УФ-излучением
привело сначала к увеличению интенсивности видимой люминесценции в 4 раза, а дальнейшая
обработка – к ее затуханию и резкому усилению экситонной люминесценции оксида цинка в 2 раза,
что является следствием удаления адсорбированного кислорода на поверхности и миграции точечных
дефектов из приповерхностного слоя. Полученные результаты могут быть использованы для модуляции оптических свойств наноструктурированных пленок оксида цинка.