Исследование зарядовых состояний в поверхностном слое кремниевой пластины и оксидной пленки после плазмохимической обработки

Жаворонок, И. А.; Тихон, О. И.

Исследование зарядовых состояний в поверхностном слое кремниевой пластины и оксидной пленки после плазмохимической обработки

Дата публикации: 2023

Дата публикации в реестре: 2024-03-01T13:26:34Z

Аннотация:

Представлены исследования влияния давления в вакуумной камере СВЧ плазмотрона на зарядовые состояния поверхности кремниевой пластины с оксидной пленкой.

Ключевые слова:
материалы конференций, кремниевые пластины, плазмотроны, зарядовые состония

Тип: Article