Методы нанесения DLC-покрытий - «Национальный агрегатор открытых репозиториев российских университетов» (НОРА)

Материалов:
1 005 012

Репозиториев:
30

Авторов:
761 409

расширенный поиск

Методы нанесения DLC-покрытий

Боровиков, С. М., Пигаль, Р. В., Терещук, О. И., Коротченя, М. А., Сивак, Д. И., Фролов, Ю. В., Делендик, М. В.

Дата публикации: 2021

Дата публикации в реестре: 2024-03-01T13:28:04Z

Аннотация:

В статье авторы описывают методы нанесения алмазоподобных покрытий, их преимущества и недостатки.

Ключевые слова:
публикации ученых, DLC-покрытия, метод СVD, метод PECVD, метод HiPIMS, углерод, алмазоподобные покрытия, материаловеденье, технология тонких плёнок

Тип: Article

Другие версии документа

Методы нанесения DLC-покрытий

Связанные документы (рекомендация CORE)