Особенности технологии изготовления GaN-приборов

Литвинова, А. В.; Ефименко, С. А.

Особенности технологии изготовления GaN-приборов

Дата публикации: 2023

Дата публикации в реестре: 2024-03-01T13:28:13Z

Аннотация:

Сегодня приборы на основе нитрида галлия находят широкое применение в силовой электронике. Рассмотрены базовые технологические процессы создания приборов на основе GaN: начиная с эпитаксии и заканчивая сборкой

Ключевые слова:
публикации ученых, GaN-приборы, силовая электроника, полупроводниковые приборы, эпитаксиальное наращивание, изоляция приборов, литография

Тип: Article