Влияние  условий  анодирования  на  предел  прочности  свободных  пленок  анодного  оксида алюминия

Шахвердиев, М. А.; Биран, С. А.; Гарифов, К. В.; Короткевич, Д. А.; Короткевич, А. В.

Влияние условий анодирования на предел прочности свободных пленок анодного оксида алюминия

Шахвердиев, М. А., Биран, С. А., Гарифов, К. В., Короткевич, Д. А., Короткевич, А. В.

Дата публикации: 2022

Дата публикации в реестре: 2024-03-01T13:30:07Z

Аннотация:

Микроэлектромеханические системы (МЭМС) находят широкое применение в высокочастотных системах связи. Большинство радиочастотных компонентов, таких как катушки индуктивности, переменные конденсаторы и переключатели, являются решающими элементами для производительности беспроводных устройств, работающих на высоких частотах.

Ключевые слова:
материалы конференций, микроэлектромеханические системы, радиочастотные компоненты

Тип: Article