Влияние легирования титаном на диэлектрические характеристики пленок оксида циркония

Доан, Т. Х.

Влияние легирования титаном на диэлектрические характеристики пленок оксида циркония

Дата публикации: 2023

Дата публикации в реестре: 2024-03-01T13:35:45Z

Аннотация:

Проведено сравнение диэлектрических свойств пленок оксида циркония и оксида титана-циркония, нанесенных методом реактивного магнетронного распыления Zr и Ti-Zr мозаичной мишени в среде Ar/O2 рабочих газов. Получены зависимости диэлектрической проницаемости, тангенса угла диэлектрических потерь, напряженности поля пробоя и ширины запрещенной зоны пленок от концентрации кислорода в Ar/O2 смеси газов в процессе нанесения. Установлено, что легирование титаном (33 ат.%) приводит к увеличению диэлектрической проницаемости до 13 – 21, увеличению диэлектрических потерь до 0,02 – 0,08 на частоте 1 кГц, до 0,08 – 0,15 на частоте 1 МГц, снижению напряженности поля пробоя до (0,4 – 2,4)×108 В/м и уменьшению ширины запрещенной зоны до 4,38 – 4,43 эВ.

Ключевые слова:
материалы конференций, реактивное распыление, магнетронное распыление, тонкие пленки, диэлектрическая проницаемость

Тип: Article