Устройство для измерения сопротивления проводящих пленок

Данилович, Н. И.; Сокол, В. А.; Костюченко, С. А.

Устройство для измерения сопротивления проводящих пленок

Данилович, Н. И., Сокол, В. А., Костюченко, С. А.

Дата публикации: 1979

Дата публикации в реестре: 2024-03-01T13:36:12Z

Аннотация:

Изобретение относится к области микроэлектроники и может быть использовано для контроля сопротивления металлических пленок в процессе их формирования на рельефных подложках.

Ключевые слова:
патенты, микроэлектроника, устройства контроля, измерительная техника

Тип: Other