Local electrochemical deposition of Ni into vertical vias in Si/SiO2 substrate - «Национальный агрегатор открытых репозиториев российских университетов» (НОРА)

Материалов:
1 005 012

Репозиториев:
30

Авторов:
761 409

расширенный поиск

Local electrochemical deposition of Ni into vertical vias in Si/SiO2 substrate

Vorobjova, A. I., Labunov, V. A., Outkina, E. A., Khodin, A. A.

Дата публикации: 2022

Дата публикации в реестре: 2024-03-01T13:36:25Z

Аннотация:

Ключевые слова:
публикации ученых, electrochemical deposition, vertical vias

Тип: Article

Связанные документы (рекомендация CORE)