Исследование состава вторичных ионных пучков меди и аргона

Гутенко, Н. Д.

Исследование состава вторичных ионных пучков меди и аргона

Дата публикации: 2023

Дата публикации в реестре: 2024-03-01T13:40:38Z

Аннотация:

Проведено исследование состава вторичного ионного пучка с применением оптической эмиссионной спектроскопии. Установлено наличие пиков свечения возбужденных атомов и ионов меди, железа и аргона

Ключевые слова:
материалы конференций, спектроскопия, эмиссионная спектроскопия, ионные пучки, тонкие пленки

Тип: Article