Влияние анодной обработки на электросопротивление наноплёнок сплава WTi

Гога, А. В.; Позняк, А. А.; Голосов, Д. А.; Гранько, С. В.; Плиговка, А. Н.

Влияние анодной обработки на электросопротивление наноплёнок сплава WTi

Гога, А. В., Позняк, А. А., Голосов, Д. А., Гранько, С. В., Плиговка, А. Н.

Дата публикации: 2023

Дата публикации в реестре: 2024-03-01T13:40:55Z

Аннотация:

Плотным анодированием в 1 %-м водном растворе лимонной кислоты пленки сплава W (80 %) Ti (20 %) толщиной 125 нм на стеклянной подложке толщиной 400 мкм получены тонкие пассивированные металлические пленки с сопротивлением от 100 до 500 Ом·м–1. Анодирование до 195 В со скоростью развертки 0,3 В·с–1 пленки WTi позволяет получить пленку с сопротивлением в диапазоне от 100 до 300 Ом·м–1 закрытым оксидом WTi, что является достаточным и необходимым условием для использования в тонкопленочном СВЧ-калориметре.

Ключевые слова:
публикации ученых, нанопленки, защитные покрытия, анодирование, калориметры

Тип: Article