Особенности  латерального  токопереноса  между  контактами металл-полупроводник

Трафименко, А. Г.; Данилюк, А. Л.

Особенности латерального токопереноса между контактами металл-полупроводник

Дата публикации: 2022

Дата публикации в реестре: 2024-03-01T13:42:48Z

Аннотация:

В данной работе рассмотрены вопросы влияния периферийных областей двух металлических контактов, расположенных на поверхности кремния, на токоперенос между ними по приповерхностной области. Рассчитана глубина проникновения электрического поля в кремний в центральной части и периферийных областях контактов, распределение потенциала в окружающих контакты ореолах, установлены закономерности компенсации периферийного поля зарядом ОПЗ.

Ключевые слова:
материалы конференций, области пространственного заряда, барьер Шоттки

Тип: Article