Расчет химического состава гелий-силановой плазмы

Струнин, Владимир Иванович; Китаева, Елена Александровна; Худайбергенов, Гамзат Жапарович

Расчет химического состава гелий-силановой плазмы

Струнин, Владимир Иванович, Китаева, Елена Александровна, Худайбергенов, Гамзат Жапарович

Дата публикации: 2010

Дата публикации в реестре: 2024-03-01T18:01:02Z

Аннотация:

Предложена модель, описывающая процесс разложения силана в разряде высокочастотной гелиевой плазмы. На основании численных расчетов получены концентрации продуктов диссоциации силана, проанализирована роль метастабильных атомов гелия в образовании пленкообразующих радикалов.

Ключевые слова:
гелий-силановая плазма, химический состав, высокоэнергетичные электроны, пылевые частицы, метастабильные атомы

Тип: статьи в журналах

Источник: Известия высших учебных заведений. Физика. 2010. Т. 53, № 1. С. 90-96