Представлена модель и установлены закономерности взаимосвязи электрофизических параметров
транзисторной структуры с двумерным каналом, основанные на самосогласовании электрохимического
потенциала и концентрации носителей заряда двумерного канала в полевой транзисторной структуре.
Такое самосогласование обеспечивается совмещением статистики Ферми – Дирака с условием электронейтральности транзисторной структуры. Рассмотрено влияние на электрофизические параметры
транзисторной структуры с двумерным полупроводниковым каналом ширины запрещенной зоны мате-
риала канала, емкости подзатворного диэлектрика, емкости интерфейсных состояний. Разработанная модель взаимосвязи электрофизических параметров транзисторной структуры с двумерным каналом может использоваться в системах автоматизированного проектирования элементной базы микро- и наноэлектроники.