Механические свойства и топография поверхности кремния, модифицированного ионно-ассистированным осаждением покрытий

Тульев, Валентин Валентинович; Ташлыков, Игорь Серафимович; Барайшук, Сергей Михайлович; Уляшко, П. В.

Механические свойства и топография поверхности кремния, модифицированного ионно-ассистированным осаждением покрытий

Тульев, Валентин Валентинович, Ташлыков, Игорь Серафимович, Барайшук, Сергей Михайлович, Уляшко, П. В.

Дата публикации: 2006

Дата публикации в реестре: 2024-07-01T13:09:40Z

Аннотация:

Статья посвящена изучению нанотвердости, модуля Юнга и топографии покрытий, нанесенных на кремний методом ионно-ассистированного осаждения в вакууме. Установлено, что покрытия на основе углерода, молибдена, титана имеют нанотвердость, сравнимую с нанотвердостью поверхности исходного кремния. Шероховатость поверхности исходного и модифицированного кремния незначительна и изменяется от 0,17 нм (исходный Si) до 1,1 нм на поверхности с титановым покрытием.

Ключевые слова:
кремниевые пластины, топография поверхности кремния, модуль Юнга, метод ионно-ассистированного осаждения, титановые покрытия, физика

Тип: Article