Контроль предельно допустимых концентраций промышленных газовых выбросов с использованием толстопленочных интегральных газочувствительных элементов

Михайлов, Валерий Борисович

Контроль предельно допустимых концентраций промышленных газовых выбросов с использованием толстопленочных интегральных газочувствительных элементов

Дата публикации: 2004

Дата публикации в реестре: 2024-07-01T13:11:14Z

Аннотация:

В работе рассматриваются вопросы применения газочувствительных полупроводниковых элементов в отраслях химической промышленности. Приводятся результаты исследованиия характеристик полученных сенсоров и измерительных схем для дифференциальных датчиков. Описан прибор с пробоотборником, позволяющий регистрировать концентрации некоторых промышленных газов на уровне предельно-допустимых концентраций.

Ключевые слова:
газовые выбросы, газовые сенсоры, предельно допустимые концентрации, ПДК, толстопленочная гибридная технология, полупроводниковые элементы

Тип: Article