Структурные изменения в тонких кальций-фосфатных пленках на титане при термической обработке

Беркин, Александр Борисович; Дерябина, Вера Валерьевна; Шарафутдинов, Марат Рашидович; Карманов, Николай Семенович

Структурные изменения в тонких кальций-фосфатных пленках на титане при термической обработке

Беркин, Александр Борисович, Дерябина, Вера Валерьевна, Шарафутдинов, Марат Рашидович, Карманов, Николай Семенович

Дата публикации: 2013

Дата публикации в реестре: 2024-07-01T17:17:11Z

Аннотация:

Исследованы особенности формирования структуры тонких кальций-фосфатных плёнок на титане, полученных методом ВЧ-магнетронного распыления, в процессе термического отжига методом in situ рентгеновской дифрактометрии синхротронного излучения (СИ). Показано, что образование наноструктурированной пленки, соответствующей по данным XRD-анализа поликристаллическому гидроксиапатиту (ГА), происходит при температуре 700–750 °С.

Ключевые слова:
кальций-фосфатные материалы, ВЧ-магнетронное распыление, структура пленок

Тип: статьи в журналах

Источник: Известия высших учебных заведений. Физика. 2013. Т. 56, № 10. С. 17-22