Генератор объемной плазмы высокой плотности на основе сильноточного импульсного магнетронного разряда

Козырев, Андрей Владимирович (физик); Сочугов, Николай Семенович; Захаров, Александр Николаевич; Оскирко, Владимир Олегович; Семенов, Вячеслав Аркадьевич; Семенюк, Наталья Степановна

Генератор объемной плазмы высокой плотности на основе сильноточного импульсного магнетронного разряда

Козырев, Андрей Владимирович (физик), Сочугов, Николай Семенович, Захаров, Александр Николаевич, Оскирко, Владимир Олегович, Семенов, Вячеслав Аркадьевич, Семенюк, Наталья Степановна

Дата публикации: 2012

Дата публикации в реестре: 2024-07-01T17:19:33Z

Аннотация:

Представлены результаты исследований пространственных и временных параметров объемной плазмы, генерируемой двумя сильноточными импульсными магнетронными распылительными системами при их работе в сбалансированном и несбалансированном режимах. Показано, что плазма, заполняющая вакуумную камеру, состоит из двух компонент: плазмы, дрейфующей из области магнитных ловушек магнетронов, и плазмы, генерируемой осциллирующими электронами непосредственно в объеме камеры. В случае сбалансированной конфигурации магнитного поля магнетронов плазма в центре вакуумной камеры объемом ~ 10 л имеет концентрацию (1–2)·10^13 см^(–3) при амплитуде тока разряда магнетронов 350 А. Использование несбалансированной конфигурации магнитного поля позволяет увеличить концентрацию плазмы в центральной части вакуумной камеры до ~ 6·10^13 см^(–3).

Ключевые слова:
магнетронные распылительные системы, магнетронные разряды, плазменно-иммерсионная обработка, генераторы плазмы

Тип: статьи в журналах

Источник: Известия высших учебных заведений. Физика. 2012. Т. 55, № 2. С. 61-67