Оптико-эмиссионная спектроскопия аргон-силановой плазмы - «Национальный агрегатор открытых репозиториев российских университетов» (НОРА)

Материалов:
1 005 012

Репозиториев:
30

Авторов:
761 409

расширенный поиск

Оптико-эмиссионная спектроскопия аргон-силановой плазмы

Струнин, Владимир Иванович, Демин, Алекcандр Сергеевич, Худайбергенов, Гамзат Жапарович

Дата публикации: 2011

Дата публикации в реестре: 2024-07-01T17:21:11Z

Ключевые слова:
плазма аргон-силановая, осаждение тонких пленок, оптико-эмиссионная спектроскопия, экспериментальные исследования

Тип: статьи в журналах

Источник: Известия высших учебных заведений. Физика. 2011. Т. 54, № 2. С. 106-108

Связанные документы (рекомендация CORE)