Формирование фторуглеродных покрытий прямым осаждением из ионных пучков

Шевчик, Е. В.

Формирование фторуглеродных покрытий прямым осаждением из ионных пучков

Дата публикации: 2024

Дата публикации в реестре: 2024-07-01T17:58:59Z

Аннотация:

Обосновано применение торцевого холловского ускорителя для синтеза фторуглеродных покрытий. Установлено, что скорость нанесения покрытий увеличивается с ростом тока разряда и напряжения на аноде. Максимальная скорость нанесения составила 1,3 нм.с-1.

Ключевые слова:
Фторуглеродные покрытия, Прямое осаждение, Скорость нанесения

Тип: Article