Определение оптимальных параметров метода дифференциального рассеяния для измерения шероховатости диэлектрических поверхностей

Osovitsky A.N.; Tupanov L.V.

Определение оптимальных параметров метода дифференциального рассеяния для измерения шероховатости диэлектрических поверхностей

Дата публикации в реестре: 2024-10-01T16:05:37Z

Аннотация:

В статье приводятся основные результаты анализа метода дифференциального рассеяния применительно к диэлектрическим поверхностям. Цель анализа - нахождение наилучших условий для измерений функции спектральной плотности шероховатости. Указаны преимущества и недостатки различных схем реализации этого метода.

Тип: Article

Источник: Вестник Российского университета дружбы народов. Серия: Физика