Реактивный ионно-лучевой синтез тонких пленок диоксида кремния, легированных углеродом - «Национальный агрегатор открытых репозиториев российских университетов» (НОРА)

Материалов:
1 005 012

Репозиториев:
30

Авторов:
761 409

расширенный поиск

Реактивный ионно-лучевой синтез тонких пленок диоксида кремния, легированных углеродом

Телеш, Е. В., Дуксин, М. В.

Дата публикации: 2019

Дата публикации в реестре: 2020-02-28T12:47:48Z

Тип: Научный доклад (Working Paper)

Связанные документы (рекомендация CORE)