Методы получения тонких пленок

Гольдаде, В.А.; Федосенко, Н.Н.

Методы получения тонких пленок

Дата публикации: 2015

Дата публикации в реестре: 2020-03-02T17:10:10Z

Аннотация:

Издание разработано в соответствии с Типовой учебной программой «Материалы электронной техники» и с требованиями образовательного стандарта высшего образования по специальности 1-31 04 03 «Физическая электроника». В практическом руководстве изложены основные данные о методах получения тонких пленок: термовакуумное напыление, ионно-плазменные и ионно-лучевые методы.

Ключевые слова:
термовакуумное напыление, реактивное распыление, лазерное испарение, резистивное испарение, методы получения тонких пленок

Права: open access