Материалов:
1 005 012

Репозиториев:
30

Авторов:
761 409

Simulation of rarefied low pressure RF plasma flow around the sample

Дата публикации: 2017

Дата публикации в реестре: 2020-03-01T01:24:18Z

Аннотация:

Тип: Conference Paper

Источник: SCOPUS17426588-2017-789-1-SID85014707974

Другие версии документа

Simulation of rarefied low pressure RF plasma flow around the sample

Связанные документы (рекомендация CORE)