Рассмотрены вопросы моделирования основных выходных характеристик GaAs
транзисторов диапазона КВЧ, которые находят широкое применение для создания
приемопередающих устройств, усилителей и ряда других приборов. Для моделирования
использовалась разработанная программа, в которой реализован многочастичный метод
Монте-Карло совместно с решением уравнения Пуассона для трехмерной области
приборной структуры. Особенностью моделируемых GaAs транзисторов явился учет
особого профиля легирования подзатворной области структуры, который может быть
сформирован с помощью ионной имплантации и позволяет улучшить выходные
характеристики. Исследование трехмерной структуры из материала GaAs позволило учесть
все геометрические размеры структуры и особенности формирования затвора и других
контактных областей. В процессе моделирования анализировалось влияние прилагаемого
постоянного смещения, особенностей формирования контактных областей структуры и ряд
других параметров на выходные характеристики транзисторов.