Probability scheme of constructing the mathematical model of shadowed sputtering - «Национальный агрегатор открытых репозиториев российских университетов» (НОРА)

Материалов:
1 005 012

Репозиториев:
30

Авторов:
761 409

расширенный поиск

Probability scheme of constructing the mathematical model of shadowed sputtering

Sevastianov L.A.

Дата публикации в реестре: 2020-03-03T14:39:54Z

Аннотация:

Ключевые слова:
Functions, Geometrical optics, Mathematical models, Probability, Shadowed sputtering, Shadowing masks, Sputtering

Тип: Article

Права: open access

Источник: Computer Physics Communications

Другие версии документа

The probability scheme of constructing the mathematical model of shadowed sputtering

Связанные документы (рекомендация CORE)