Электрические характеристики структур металл-TiO2-Si на переменном сигнале

Калыгина, Вера Михайловна; Прудаев, Илья Анатольевич; Толбанов, Олег Петрович; Макаров, Владимир Анатольевич

Электрические характеристики структур металл-TiO2-Si на переменном сигнале

Калыгина, Вера Михайловна, Прудаев, Илья Анатольевич, Толбанов, Олег Петрович, Макаров, Владимир Анатольевич

Дата публикации: 2015

Дата публикации в реестре: 2020-03-03T19:21:02Z

Аннотация:

Исследованы структуры Ni/V-TiO2- n- Si-V/Ni с пленкой TiO2, полученной методом ВЧ-магнетронного распыления мишени, изготовленной из оксида титана. Установлено, что используемая технология изготовления образцов в сочетании с отжигом пленок TiO2 при 500 ° С приводит к формированию кристаллитов анатаза и рутила в аморфной матрице; в сочетании с отжигом при 750 °С - к формированию кристаллитов только фазы рутила. Измеренные фотоэлектрические характеристики свидетельствуют о низком коэффициенте пропускания пленками TiO2 света с λ = 400 нм.

Ключевые слова:
вольт-фарадные характеристики, вольт-сименсные характеристики, диоксид титана, поверхностные состояния, генерация носителей заряда, носители зарядов, пленки диоксида титана

Тип: статьи в журналах

Источник: Известия высших учебных заведений. Физика. 2015. Т. 58, № 8/3. С. 139-142