Исследование электрических характеристик структур TiO2-Si - «Национальный агрегатор открытых репозиториев российских университетов» (НОРА)

Материалов:
1 005 012

Репозиториев:
30

Авторов:
761 409

расширенный поиск

Исследование электрических характеристик структур TiO2-Si

Зарубин, Андрей Николаевич, Калыгина, Вера Михайловна, Новиков, Вадим Александрович, Петрова, Юлианна Сергеевна, Прудаев, Илья Анатольевич, Толбанов, Олег Петрович, Черников, Евгений Викторович, Яскевич, Тамара Михайловна, Цупий, Светлана Юрьевна

Дата публикации: 2013

Дата публикации в реестре: 2020-03-03T19:43:21Z

Ключевые слова:
оксиды титана, кремний, кислородная плазма, термический отжиг, вольт-фарадные характеристики, вольт-сименсные характеристики, диэлектрическая проницаемость

Тип: статьи в журналах

Источник: Известия высших учебных заведений. Физика. 2013. Т. 56, № 8/3. С. 147-149

Связанные документы (рекомендация CORE)