Получение пленок нитрида титана методом магнетронного распыления

Сотников, Д. А.; Глушко, В. В.; Мезенцев, Д. О.; Якупов, Э. С.

Получение пленок нитрида титана методом магнетронного распыления

Сотников, Д. А., Глушко, В. В., Мезенцев, Д. О., Якупов, Э. С.

Дата публикации: 2020

Дата публикации в реестре: 2020-12-02T08:41:00Z

Аннотация:

В статье была разработана технология нанесения пленок нитрида титана (TiN) методом реактивного магнетронного распыления. Определен спектр отражения полученных покрытий. Определен технологический режим, при котором длина волны фотонной запрещённой зоны соответствует золотому цвету. Цель работы – получение технологического режима нанесения плёнок нитрида титана (TiN) золотого цвета для дальнейшего использования их в качестве теплозащитных покрытий и декоративной сфере.

Ключевые слова:
нитрид титана, пленки нитрида титана, магнетронное распыление, получение пленок нитрида титана, инновационные технологии

Тип: Article