Автоматизируемая система контроля параметров ионного источника для распределения потока заряженных и нейтральных частиц ионно-плазменных систем - «Национальный агрегатор открытых репозиториев российских университетов» (НОРА)

Материалов:
1 005 012

Репозиториев:
30

Авторов:
761 409

расширенный поиск

Автоматизируемая система контроля параметров ионного источника для распределения потока заряженных и нейтральных частиц ионно-плазменных систем

Ярмашук, Е. С., Бурко, С. С.

Дата публикации: 2018

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T17:42:41Z

Ключевые слова:
материалы конференций, ионный источник, поток заряженных и нейтральных частиц, ионно-плазменные системы

Тип: Статья

Связанные документы (рекомендация CORE)