Система контроля параметров потоков нейтральных и заряженных частиц ионно-плазменных системСистема контроля параметров потоков нейтральных и заряженных частиц
ионно-плазменных систем
Ионно-плазменные системы в технологии тонких пленокДостанко, А. П.,
Мадвейко, С. И.,
Телеш, Е. В.,
Мельников, С. Н.,
Завадский, С. М.,
Голосов, Д. А. В статье изложены современные тенденции развития
ионно-плазменных систем для ионной обработки и
Структура систем Ti-Mo-N, Zr-Mo-N, полученных методом ионно-плазменного осаждениятез нитридов с регулируемым соотношением компонентов. Определено, что структура
системы Ti- Mo-N пред
Развитие комплексного электронно-ионно-плазменного метода модификации поверхности материалов и изделийКоваль, Николай Николаевич,
Иванов, Юрий Федорович,
Девятков, Владимир Николаевич,
Шугуров, Владимир Викторович,
Тересов, Антон Дмитриевич,
Петрикова, Елизавета Алексеевна ассистированием. Высокоскоростное плавление
системы пленка (Si+Nb) / сталь 40Х-подложка осуществлялось интенсивным
Ионно-плазменные системы для формирования слоев сверхтвердых материалов в условиях ионного ассистирования экспериментальное оборудование для формирования тонкопленочных покрытий методом двойного
ионно-лучевого распыления и