Целью работы является разработка высокоэффективной технологии получения поликристаллического кремния из моносилана методом термического разложения моносилана в реакторе кипящего слоя.The aim of the work is development of high-efficient technology of producing polycrystalline silicon from monosilane by thermal decomposition of monosilane in fluidized bed reactor.