Технология получения гранулированного кремния из моносилана в  реакторе кипящего слоя

Кайдов, О. Л.; Kaidau, A. L.

Технология получения гранулированного кремния из моносилана в реакторе кипящего слоя

Дата публикации: 2005

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T18:05:02Z

Аннотация:

Целью работы является разработка высокоэффективной технологии получения поликристаллического кремния из моносилана методом термического разложения моносилана в реакторе кипящего слоя.The aim of the work is development of high-efficient technology of producing polycrystalline silicon from monosilane by thermal decomposition of monosilane in fluidized bed reactor.

Ключевые слова:
авторефераты диссертаций, термическое разложение моносилана, кипящий слой, закономерности роста гранул кремния, степень преобразования моносилана в поликристаллический кремний, monosilane thermal decomposition, fluidized bed, rules of silicon granules grows, transformation degree of monosilane to polycrystalline silicon

Тип: Abstract of the thesis