Технология получения гранулированного кремния из моносилана в реакторе кипящего слоя кремния из моносилана методом термического разложения моносилана в реакторе кипящего слоя.The aim
Формирование слоев пористого кремния на сильнолегированных монокристаллах кремния дырочного типа проводимостиГурбо, А. Д.,
Клименко, А. В.,
Бондаренко, В. П.,
Hurbo, A. D.,
Klimenka, A. V.,
Bondarenko, V. P. получены слои пористого
кремния. Изучены
закономерности роста слоев и зависимость
их пористости от
Компьютерное моделирование начальных стадий роста карбида кремния на кремнии из монометилсиланаКомпьютерное моделирование начальных стадий
роста карбида
кремния на кремнии из монометилсилана
Закономерности изменения свойств монокристаллов кремния под действием малодозового бета-облученияОписаны
закономерности изменения механических свойств (микро- и нанотвердость, вязкость разрушения
Влияние морфологии поверхности на стабильность наношнуров кремнияПроведено исследование стабильности наношнуров
кремния с ориентацией
роста <111> и экспериментально
Обеднение кремния, индуцированное пленками нитрида кремния в структуре Si/Si₃N₄/Нематик/ITOНаноразмерные (< 10 нм) пленки нитрида
кремния, полученные магнетронным напылением, изменяют порог