Анализ химического состава поверхностного слоя графита, модифицированного ионно-ассистируемым осаждением молибдена

Бобрович, Олег Георгиевич

Анализ химического состава поверхностного слоя графита, модифицированного ионно-ассистируемым осаждением молибдена

Дата публикации: 2022

Дата публикации в реестре: 2022-10-06T12:59:33Z

Аннотация:

В работе приведены результаты изучения элементного состава покрытия, распределение элементов в покрытии и их химические связи при формировании структур Мо - графит, создаваемых нанесением Мо в условиях ассистирования ионами Мо+. Анализ выполнен с применением методов резерфордовского обратного рассеяния ионов гелия и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии.

Ключевые слова:
поверхностный слой графита, ионно-ассистируемое осаждение, молибден, осаждение молибдена, рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия, обратное рассеяние ионов гелия

Тип: Article