Исходя из матрицы 4×4 для произвольной линейной оптической системы, в работе получены полные матрицы для трех наиболее употребительных схем эллипсометра, а также выражение для интенсивности рабочего светового пучка на выходе идеального эллипсометра, собранного по этим схемам.