Об измерении параметров тонких двухслойных диэлектрических пленок на полупроводниковых подложках эллипсометрическим методом - «Национальный агрегатор открытых репозиториев российских университетов» (НОРА)

Материалов:
1 005 012

Репозиториев:
30

Авторов:
596 024

расширенный поиск

Об измерении параметров тонких двухслойных диэлектрических пленок на полупроводниковых подложках эллипсометрическим методом

Свиташев, К.К., Семененко, А.И., Семененко, Л.В., Соколов, В.К.

Дата публикации: 1972

Дата публикации в реестре: 2023-11-01T13:35:50Z

Тип: Article

Права: open access

Связанные документы (рекомендация CORE)