Недеструктивный количественный элементный анализ поверхности материалов

Егоров, Евгений Владимирович; Егоров, Владимир Константинович (канд. физ.-мат. наук); Кореневский, Егор Леонидович

Недеструктивный количественный элементный анализ поверхности материалов

Егоров, Евгений Владимирович, Егоров, Владимир Константинович (канд. физ.-мат. наук), Кореневский, Егор Леонидович

Дата публикации: 2024

Дата публикации в реестре: 2024-07-01T17:20:48Z

Аннотация:

Представлены возможности методов резерфордовского обратного рассеяния и метода протон-индуцированной рентгеновской эмиссии, а также особенности их применения для недеструктивной элементной диагностики поверхности материалов. Показано, что совместное использование этих методов позволяет количественно характеризовать химический состав поверхностного слоя различных объектов и определять элементный концентрационный профиль по толщине этого слоя с наноразмерным разрешением. Использование методов продемонстрировано на примерах тонкопленочных покрытий, образцов нефти и текстильной промышленности.

Ключевые слова:
количественный анализ, элементный состав, резерфордовское обратное рассеяние, диагностика, тонкие пленки

Тип: статьи в журналах

Права: open access

Источник: Известия высших учебных заведений. Физика. 2024. Т. 67, № 1. С. 120-125