Барьеры реализации импортозамещения в российской микроэлектронике import-dependent, this is especially true for Russian
microelectronics, the import substitution of which
Синтез оптоэлектронной системы установки контроля микроэлектронных структурSynthesis of optoelectronic system for control of
microelectronic structures
Система перемещений для оптико-механического оборудования микроэлектроникиАгранович, А. А.,
Аваков, С. М.,
Жарский, В. В.,
Ahranovich, A. A.,
Avakow, S. M.,
Zharsky, V. V. управления.The production of
microelectronics devices requires usage of planar structures generators