Сенсорика. Современные технологии микро- и наноэлектроникиУчеб. пособие для магистров и аспирантов вузов по курсу "Современные
технологии микро- и
Сенсорика. Современные технологии микро- и наноэлектроники примеры приборов, выпускаемых в настоящее время в промышленном масштабе. Описаны некоторые
технологии Микроэлектронные датчики и сенсорные устройства : учеб. пособие излучения, актюаторы и сенсоры вакуумно-плазменных
технологий, обеспечивающие высокое качество