Обобщенная архитектура программного комплекса  управления оборудованием контроля критических размеров на базе систем  машинного зрения

Аваков, С. М.; Дудкин, А. А.; Воронов, А. А.; Ганченко, В. В.; Рымко, В. М.; Шоломицкий, В. Г.; Avakov, S.; Voronov, А.; Doudkin, A.; Ganchenko, V.; Rymko, V.; Sholomicki, V.

Обобщенная архитектура программного комплекса управления оборудованием контроля критических размеров на базе систем машинного зрения

Аваков, С. М., Дудкин, А. А., Воронов, А. А., Ганченко, В. В., Рымко, В. М., Шоломицкий, В. Г., Avakov, S., Voronov, А., Doudkin, A., Ganchenko, V., Rymko, V., Sholomicki, V.

Дата публикации: 2021

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T18:01:53Z

Аннотация:

В данной работе описываются функции и структура программного комплекса управления оборудованием контроля критических размеров на базе систем машинного зрения. Описаны преимущества разработанной архитектуры, а также ее использование для решения задач анализа изображений микросхем с помощью оборудования автоматического контроля топологии. Применение описанной архитектуры программного комплекса позволяет эффективно идентифицировать дефекты, что особенно важно для разработки программного обеспечения установок контроля топологии СБИС по субмикронным нормам.This paper describes the functions and the architecture of software control system for equipment of critical sizes inspection of integrated circuit layouts on the basis of computer vision. The advantages of the developed architecture are described, as well as its application for image processing of integrated circuit layouts. The system allows identifying effectively defects what it is especially important for VLSI manufacturing based on submicron technology.